多線切割機

近年來，由于國家的重視，將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題列入國家重大科技專項，另外，國內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個巨大的商機，大力投入人力物力開展艱苦的研制開發(fā)，先以模仿為主，逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新，研制出有自身知識產(chǎn)權(quán)的多線切割機。因此在硅片切割工藝中我們需要面對多項挑戰(zhàn)，主要聚焦于光伏產(chǎn)業(yè)金剛線切割的生產(chǎn)效率，也就是單位時間內(nèi)生產(chǎn)的硅片數(shù)量。

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線切割工藝

目前，金剛線切割工藝的輔料主要為金剛線及切割液：

金剛線  金剛石鋸線是一種固態(tài)研磨工具，金剛石顆粒用電鍍或者環(huán)氧基方式粘接在基線上。金剛石鋸線分為電鍍金剛石鋸線和樹脂結(jié)合劑鋸線。

樹脂結(jié)合劑金剛石鋸線是一種采用樹脂作為結(jié)合劑,將金剛石磨粒固結(jié)于鋸絲基體表面而形成的固結(jié)磨料鋸線。樹脂結(jié)合劑鋸線制造方法與樹脂結(jié)合劑砂輪的制造類似,直接將含有金剛石磨料的樹脂混合物涂敷在金屬絲表面,經(jīng)過干燥后再固化。相比電鍍金剛石鋸線,樹脂涂層的剪切模量較低,鋸絲的扭切強度基本不變,更重要的是樹脂結(jié)合劑金剛石鋸絲制作工藝簡單,生產(chǎn)成本低,生產(chǎn)。該類切割線使用時一般纏繞到幾個導輪上進行單向循環(huán)切割，切割過程中無需換向，因此切割速度高。、

金剛石線鋸切割

電鍍金剛石線鋸是用電鍍的方法在金屬絲(線) (基體) 上沉積一層金屬(一般為鎳及鎳鈷合金) 并在沉積的金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。

與內(nèi)圓切割片、金剛石帶鋸、游離磨料多線切割相比較，金剛石線鋸切割顯現(xiàn)出一系列優(yōu)點：加工表面損傷小、撓曲變形小，片厚一致性好，可隨意改變切割方向，精度佳，，壽命長等。因此，越來越受到人們的關(guān)注。