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半導體手套箱服務介紹“本信息長期有效”

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發(fā)布時間:2020-08-16 07:18  






手套箱故障分析

一、循環(huán)啟動不了

1. 工作氣壓力是否在0.4-0.6MPa之間;

2. 高真空擋板閥電磁開關反饋是否正常;

3. 壓力傳感器是否顯示正常;

4. 風機空開是否跳閘;

5. 風機變頻器是否正常;

6. 點循環(huán)后,繼電器是否同時亮兩個。

二、再生按鈕不起作用

1. 需輸入密碼;

2. 真空泵未打開;

3. 此凈化柱正在循環(huán)(再生和循環(huán)不能同時在一個凈化柱上)。

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手套箱手套的安裝與維護

初次安裝手套箱請先將手套套在手套口上面,然后分別將內外密封圈安裝,安裝后檢查一下,確定密封圈均在凹槽內。

如果在使用過程中發(fā)現手套破損,應及時更換,步驟如下:

1.把要替換的手套推倒箱體內;

2.摘除掉外部的O型圈,再移動里面的O型圈致手套口外部槽上;

3.把手套卷到外面的O型圈邊,注意不要讓手套從手套口上掉下來;

4.盡可能地壓縮新的手套,趕出里面的空氣;

5.把新的手套安裝到手套口上,套在舊手套上;

6.在新手套外部,手套口里面的槽上安裝O型圈;

7.如果可以,把新手套放入隔離開的工作氣體環(huán)境中清潔(這樣能大程度去除空氣,減少進入手套箱體內的空氣量);

8.從手套箱里面,用另一個手套把舊手套摘到箱體內;

9.在新手套外面,手套口外部的槽上安裝上O型圈;

10.通過過渡艙把舊手套取出,妥善處置。







手套箱功能原理       

手套箱箱體內的工作氣體在箱體與凈化柱(水氧吸附器)之間,在PLC的控制和監(jiān)視下,通過管道、循環(huán)風機等進行密閉循環(huán)。工作氣體循環(huán)經過凈化柱時其所含水分和氧氣被吸附掉,然后再返回箱體內,隨著循環(huán)時間的推移,箱體內工作氣體中的水氧含量逐步減少,終達到小于1ppm的指標。箱體壓力過高會造成手套箱自動停止循環(huán),檢查是否有工作氣持續(xù)補進去。凈化柱在一定時間的循環(huán)后會吸附飽和,可進行再生,重復使用。







帶凈化系統(tǒng)手套箱

目前行業(yè)內常用的有手套箱。手套箱分類一、工業(yè)手套箱基本技術指標:1、水含量小于1ppm。手套箱的除水除氧功能是靠凈化材料來實現的,而凈化材料在吸附飽和后需要通過再生來恢復其活性,使其重新具有除水除氧功能。目前行業(yè)內的一些廠家的產品還原清洗較頻繁,除了密封、凈化材料的再生工藝問題外,存在凈化柱的結構設計不合理、高徑比設計不科學,通入的還原氣體流量控制不科學,每次還原再生不徹底等因素。

因此,尋求一種優(yōu)異的手套箱凈化再生系統(tǒng),使得再生工藝中凈化材料加熱時更加均勻,還原更加徹底,提升凈化再生體系效能是整個行業(yè)迫切需要解決的問題。

為了克服上述困難,提供一種帶凈化系統(tǒng)的手套箱,凈化再生效果好,凈化材料利用率高,艾明坷氣體凈化手套箱根據還原反應在不同階段對還原氣體消耗量的差異,通過PLC程序自動控制時間、調節(jié)氣體流量實現還原氣體流量自動控制。4、手套箱不利用時,應將各個門打開,防止手套箱門由于卡扣長時間擠壓而發(fā)生變形。手套箱氣體凈化系統(tǒng)提升了凈化材料的利用率,提高了手套箱箱體凈化的使用次數,降低了凈化柱還原的頻率。








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