烘箱

工作原理：　　

　　空氣循環(huán)系統(tǒng)采用雙電機水平循環(huán)送風(fēng)方式，風(fēng)循環(huán)均勻gao效。優(yōu)勢：1、耐用性較強：由于電熱器被密封在箱體內(nèi)，與外界空氣接觸面小，因此不易被氧化腐蝕。風(fēng)源由循環(huán)送風(fēng)電機（采用無觸點開關(guān)）帶動風(fēng)輪 （Φ230）經(jīng)由電熱器，而將熱風(fēng)送出，再經(jīng)由風(fēng)道至烘箱內(nèi)室，再將使用后的空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)，加熱使用。確保室內(nèi)溫度均勻性。當(dāng)因開關(guān)門動作引起溫度值發(fā)生擺動，可介此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復(fù)操作狀態(tài)溫度值。

烘箱選型依據(jù)及理由 因為烘箱用在光刻工藝， 所以對其的潔凈度要求比較高， 同時用于膜的固化 等工藝， 保持片內(nèi)的均勻性、 溫控系統(tǒng)也是要求較高。為了保證烘干爐內(nèi)的清潔，在設(shè)備的使用過程中應(yīng)經(jīng)常對烘干爐進行清掃。 烘箱的生產(chǎn)廠家國內(nèi)和國 外都比較多， 用途也是多元化的， 從價格角度考慮， 則把國內(nèi)生產(chǎn)的烘箱放在首 位， 因為不論是售后服務(wù)還是備件購買都會相對容易一些， 價格很低很多。 但光 刻工藝中要求嚴格控制烘箱產(chǎn)生的顆粒度。