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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
使用無掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)
經(jīng)過顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層
業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK),材質(zhì):石英玻璃、金屬鉻和感光膠,該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,在金屬鉻上形成電路圖形,成為類似曝光后的底片的光掩模版,然后應(yīng)用于對集成電路進(jìn)行投影定位,通過集成電路光刻機(jī)對所投影的電路進(jìn)行光蝕刻,其生產(chǎn)加工工序?yàn)椋浩毓猓@影,去感光膠,后應(yīng)用于光蝕刻。其圖形結(jié)構(gòu)可通過制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備,如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。
刻蝕或離子注入完成后,將進(jìn)行光刻的后一步,即將光刻膠去除,以方便進(jìn)行半導(dǎo)體器件制造的其他步驟。如需要烤版,烤版時(shí)要注意:①首先要選好烤版膠,烤版膠不能太臟。通常,半導(dǎo)體器件制造整個過程中,會進(jìn)行很多次光刻流程。生產(chǎn)復(fù)雜集成電路的工藝過程中可能需要進(jìn)行多達(dá)50步光刻,而生產(chǎn)薄膜所需的光刻次數(shù)會少一些。