真空干燥箱操作方法：

 當(dāng)所需工作溫度較低時(shí)，可采用二次設(shè)定方法，如所需溫度60℃，第l一次可設(shè)定50℃，等溫度過沖開始回落后，再第二次設(shè)定60℃。這樣可降低甚至溫度過沖現(xiàn)象，盡快進(jìn)入恒溫狀態(tài)。

根據(jù)不同物品潮濕程度，選擇不同的干燥時(shí)間，如干燥時(shí)間較長，真空度下降，需再次抽氣恢復(fù)真空度，應(yīng)先開真空泵電源，再開啟真空閥。

干燥結(jié)束后應(yīng)先關(guān)閉干燥箱電源，開啟放氣閥，解除箱內(nèi)真空狀態(tài)，再打開箱門取出物品。(解除真空后，如密封圈與玻璃門吸緊變形不易立即打開箱門，經(jīng)過一段時(shí)間后，等密封圈恢復(fù)原形后，才能方便開啟箱門。)

使用操作烘箱要注意以下幾點(diǎn)：

（一）烘箱的時(shí)間一定要調(diào)正確，這樣才能達(dá)到烘烤的效果。

（二）烘箱的溫度一定要調(diào)正確，這樣才能保正烘烤的質(zhì)量。

（三）烘箱的廢氣排放一定要合理，千萬不能堵住。

（四）烘箱按裝的電線一定要有足夠的截面，保證安全用電。

（五）烘箱按裝必須接可靠的地線。

（六）烘箱裝放的四周必須有一定的散熱空間，不能靠近易著火物。

（七）烘箱四周要裝放氣體滅火器。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。它適用于比室溫高5~300℃（有的高200℃）范圍的烘培、干燥、熱處理等，靈敏度通常為±1℃。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。烘箱原理：烘箱在工作時(shí)，操作人員通過儀表和感溫器來獲得烘箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。