光波超精密——空氣導(dǎo)軌平臺(tái)

超精機(jī)靜壓氣浮導(dǎo)軌是由高精度的靜導(dǎo)軌、動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮軸承等部件組成。高速高壓氣浮軸承在導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)，在動(dòng)靜壓導(dǎo)軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動(dòng)形成潤滑膜，使動(dòng)靜壓導(dǎo)軌表面不直接接觸。氣浮導(dǎo)軌與液壓導(dǎo)軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——空氣導(dǎo)軌平臺(tái)

由于氣浮軸承將氣體排入導(dǎo)軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量儀測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌明顯具有摩擦阻力小、無粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，而在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中，已廣泛應(yīng)用。

當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。進(jìn)入導(dǎo)軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量儀測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和運(yùn)動(dòng)速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌的摩擦力將對(duì)超精密機(jī)床的定位精度、系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。對(duì)超精密機(jī)床的定位精度和運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行研究，已成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)[4-6]。