特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU標記(例如、、有毒等) 。 　包裝標志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無　水，管路、閥門和容器不用時應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離。

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù)，以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。

 對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進行評估。管道設(shè)計應(yīng)進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。