實驗室氣體管道設計要求

了解實驗室設計的都知道：實驗室的任何的設計都是有規(guī)格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴重的就會有生命危險。試驗室供氣現(xiàn)狀目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。

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小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。并成為當今試驗室設備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應源，氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)，并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調節(jié)壓力和流量。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。

氣體配比儀采用質量流量計，電化學拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。

高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。