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發(fā)布時(shí)間：2021-01-20 14:15
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光刻膠編碼 HS編碼: |
3707100001 [類注] | [章注] | [子目注釋] |
| 中文描述: | 不含銀的感光乳液劑 （CIQ碼：301:液體） |
| 英文描述: | Non--0--silver light-sensitive emulsion agent |
| 申報(bào)要素: | 0.品牌類型；1.出口享惠情況；2.用途；3.包裝；4.成分；5.是否含銀；6.品牌；7.型號(hào)；光刻工藝的成本約為整個(gè)芯片制造工藝的35%，并且耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)芯片工藝的40%到50%。8.是否有感光作用（以下要素僅上海海關(guān)要求）9.GTIN；10.CAS |
| 申報(bào)要素舉例: | / 1.感光劑；2.用途:感光材料，用于噴墨制版機(jī)；3.包裝:瓶裝；4.成分:重氮樹(shù)脂94%以上；5.無(wú)品牌；6.無(wú)型號(hào) |
| 單位: | 千克 |
NR9-3000PYNR9 3000PY光刻膠價(jià)格
2,涂膠，在硅片覆蓋，旋轉(zhuǎn)，離心力，在硅片表面通過(guò)旋轉(zhuǎn)的光刻膠，工藝參數(shù)3000-6000rpm 膠膜厚0.5-1um，
3,前烘，通過(guò)在較高溫度下進(jìn)行烘焙，使存底表面涂覆的光刻膠膜的溶劑揮發(fā)，溶劑將至5%左右，同時(shí)增強(qiáng)與襯底的粘附性。前烘方法：熱平板傳導(dǎo)，干燥循環(huán)熱風(fēng)提高附著力，紅外線輻射。
烘箱前烘條件：90-100度，10-20min，前烘時(shí)間與溫度應(yīng)適當(dāng)，如太長(zhǎng)或溫度太高，光刻膠層變脆而附著力下降，而前烘不足會(huì)影響后面的顯影效果。
PR1-1000A1
NR9-3000PY 負(fù)性光刻膠
負(fù)膠 NR9-3000PY 被設(shè)計(jì)用于i 線（365 nm）曝光，可使用如步進(jìn)光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻
和接觸式光刻等工具。
顯影之后，NR9-3000PY 展現(xiàn)出一種倒梯形側(cè)壁，這可以方便地作單純的LIFT-OFF 處理。
NR9-3000PY 相對(duì)于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢(shì)：
- 優(yōu)異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過(guò)調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲(chǔ)存保質(zhì)期長(zhǎng)達(dá)3 年
Lift-Off工藝
應(yīng)用領(lǐng)域：LEDs，OLEDs，displays，MEMS，packaging，biochips。
濕法蝕刻，鍍 干法蝕刻（RIE/Ion Milling/Ion implantation）
附著力好Temperature resistance = 100°C 耐高溫Temperature resistance = 180°C
Resist Thickness NR9-3000PY 負(fù)性光刻膠
負(fù)膠 NR9-3000PY 被設(shè)計(jì)用于i 線（365
nm）曝光，可使用如步進(jìn)光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻
PC6-16000
NR9-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR9-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR9-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR9-6000PY 5.0μm -
12.2μm
Resist Thickness
NR71-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR71-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR71-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR71-6000PY 5.0μm - 12.2μm
