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由于派瑞林parylene涂層具有如下性能,廣泛適用于產(chǎn)品中
? parylene涂層符合ISO-10993生物實驗要求
? parylene涂層符合FDA G95-1
? parylene符合(ROHS)2002/95/EC
? 生物兼容性和生物穩(wěn)定性
派瑞林Parylene涂層采用的真空氣相沉積工藝制備,其制備過程如下:首先,在真空條件下固態(tài)派瑞林原料在130℃升華氣化,然后在680℃高溫下,將氣態(tài)雙份子裂解成活性單體;*在真空常溫下,氣態(tài)單體在基體上生長聚合,在基材表面“生長”出完全敷形的派瑞林聚合物薄膜涂層,該涂層具有其他涂層難以比擬的性能優(yōu)勢。它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊,裂縫里和內(nèi)表面。
parylene鍍膜代工作為蒸發(fā)源的材料必須具備熔點高、揮發(fā)低、高溫冷卻后脆性小等性質(zhì)。常用的線狀蒸發(fā)源應(yīng)能與蒸發(fā)金屬相潤濕,熔點遠遠大于待鍍金屬的蒸發(fā)溫度,不與待鍍金屬發(fā)生反應(yīng)生成合金。
Parylene D是系列中的第三個成員,它由雷同的單體系方式成,只是將其中兩個芳香烴氫原子被氯原子庖代。Parylene D的性子與Parylene C相似,但是具有更高的耐熱能力。
濺射鍍膜:用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。濺射現(xiàn)象于1870年開始用于鍍膜技術(shù),1930年以后由于提高了沉積速率而逐漸用于工業(yè)生產(chǎn)。常用的二極濺射設(shè)備。通常將欲沉積的材料制成板材——靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年枠O上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入 10-1帕的氣體(通常為氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。