凈化工程系統(tǒng)的組成部分主要有哪些

參與潔凈室項(xiàng)目的朋友可能不了解凈化項(xiàng)目的組成系統(tǒng)。 目前尚不清楚哪種系統(tǒng)組件主要用于凈化工程系統(tǒng)。 以下簡要介紹凈化工程系統(tǒng)的主要組成部分。 通過本文的介紹，我希望我的朋友能夠理解凈化項(xiàng)目。 凈化工程系統(tǒng)的組成部分主要有哪些 凈化工程的主要組成部分有六個部分：地面系統(tǒng)，風(fēng)道系統(tǒng)，自動控制系統(tǒng)，電氣系統(tǒng)，給排水系統(tǒng)和空氣過濾系統(tǒng)。

九十年代初至今,是國內(nèi)潔凈技術(shù)與國際全國接軌,走向規(guī)范化的時(shí)

潔凈技術(shù)在中國的發(fā)展 在中國，潔凈技術(shù)的起步和奠基階段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中國建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所和蚌埠絕緣材料廠等單位研制完成帶波紋隔板的空氣過濾器通過鑒定，標(biāo)志了我國潔凈技術(shù)開始正式起步。同時(shí)，一此電子技術(shù)、精密機(jī)械和工業(yè)相關(guān)的設(shè)計(jì)院，也在探索、研究潔凈室的工程設(shè)計(jì)。1965年建成的沈陽119廠和石家莊13所就是由三機(jī)部四院（現(xiàn)航空工業(yè)部第四設(shè)計(jì)院）和四機(jī)部第二設(shè)計(jì)院（現(xiàn)中國電子工程設(shè)計(jì)院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級設(shè)計(jì)建設(shè)的。到七十年代末至八十年代末，這十年間，中國的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽光燦爛的發(fā)展階段，許多標(biāo)志性的重要成果，幾乎都誕生在這個階段，如標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范制定與國際交往方面；生物潔凈室在方面陸續(xù)得到推廣應(yīng)用；在產(chǎn)品研制與開發(fā)方面達(dá)到八十年代國外的技術(shù)水平等等。九十年代初至今，是國內(nèi)潔凈技術(shù)與國際全國接軌，走向規(guī)范化的時(shí)代。隨著中國經(jīng)濟(jì)始終保持穩(wěn)定的高速增長，國際投資持續(xù)注入，一批跨國集團(tuán)在中國陸續(xù)興建了眾多的微電子工廠因此國內(nèi)技術(shù)與研究人員有更多機(jī)會直接接觸國外別潔凈室的設(shè)計(jì)理念，了解世界的先進(jìn)設(shè)備和裝置、管理與維護(hù)等等。從這方面來看，的確從各個角度與國際日益接軌。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。 濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。 潔凈室中的氣壓規(guī)定 對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。