真空泵真空設(shè)備檢漏維修

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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設(shè)備，真空標準件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。⑶真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

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真空自耗電弧爐熔煉作為公司核級鋯材生產(chǎn)的第Yi道工序，其要求的真空度及漏氣率非常嚴格，只有當漏氣率達到0.65 Pa/min 以下才允許熔煉，由于真空自耗電弧爐真空部分包括前級真空泵、大小羅茨泵、真空管道以及上爐室和坩堝部分，真空爐室部分容積大，漏點多的特點，任何一個地方發(fā)生微小的漏氣都可能造成真空度降低而無法滿足熔煉工藝要求，因此認為采用上述充壓檢漏法顯然是無法達到檢測要求的，通常采用借助于系統(tǒng)自身的真空系統(tǒng)的真空檢漏法，目前分廠主要采用氦質(zhì)譜檢漏儀來檢測電弧爐的漏點。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。

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真空泵

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羅茨泵從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。

分子泵分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要?；y泵由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。

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真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設(shè)備，真空標準件以及真空設(shè)備的維護保養(yǎng)。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

一個真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實的，也是沒有必要的，所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實際應(yīng)用的具體條件，對漏率指標提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強，這些漏孔就是允許的。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計真空系統(tǒng)的一項主要指標，也是檢漏的依據(jù)。主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便。

如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設(shè)計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。