從加工方法的機理、特點和傳統(tǒng)來分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學能和核能等對材料進行加工和處理；復合加工是采用多種加工方法的復合作用，進行優(yōu)勢互補，相輔相成。當前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術。基于頻率跟蹤的F-P標準具測量技術具有極高的靈敏度和準確度,其精度0。目前超精密加工已進入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應的技術。