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關(guān)泵。

　　水環(huán)真空泵要停泵時，應(yīng)先關(guān)閉真空泵吸氣管路上的閥門，防止真空泵停泵后恢復(fù)常壓狀態(tài)，所吸的容器還是負(fù)壓狀態(tài)時，水箱出現(xiàn)回水現(xiàn)象。關(guān)閉進(jìn)水閥門后關(guān)閉電機(jī)，這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分，避免下次水環(huán)真空泵啟動時，泵腔內(nèi)水過多而造成電機(jī)的啟動負(fù)荷過大。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍?！　?/span>

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對傳動系統(tǒng)進(jìn)行改造

　　為減少電機(jī)、傳動軸的振動向水環(huán)式真空泵傳遞，把它與傳動軸之間的剛性連接改為彈性連接。使用GB4323-84彈性套柱銷聯(lián)軸器，較大補(bǔ)償位移量為0.6毫米，補(bǔ)償角為1°30，這樣，電機(jī)、傳動軸的振動可以通過彈性聯(lián)軸器得到補(bǔ)償，不會直接傳遞到真空泵。

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