1000-30萬級凈化室和100級以上的凈化室不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度成不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流。無塵車間動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染。無塵車間設(shè)計(jì)要求：空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高過濾器三級過濾器。

無塵車間施工要求：縫隙應(yīng)在正面密封。自流平地面處理，厚度2mm。作業(yè)中的發(fā)塵量須隨時(shí)清掃。保護(hù)好作業(yè)面，避免造成板材缺陷。無塵車間施工要求：裝有過濾器的房間，不能有粉塵的作業(yè)。各個(gè)相接處的縫隙須密封。施工現(xiàn)場應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明。所謂10萬級是指一英尺的空間內(nèi)允許存在的0.5微米的塵埃粒子的個(gè)數(shù)在10萬個(gè)以內(nèi)。人和物是潔凈室無塵車間的主要塵源，因此必須充分控制。

無塵車間分為幾個(gè)等級，分別為1級≥百級級≥千級級≥萬級≥十萬級≥百萬，越排在前面的，級別越高，1級是級別排首位的。所謂10萬級是指一英尺的空間內(nèi)允許存在的0.5微米的塵埃粒子的個(gè)數(shù)在10萬個(gè)以內(nèi)。人和物是潔凈室無塵車間的主要塵源，因此必須充分控制。無塵車間等級定義的模式如下：Class?X?(at?Y?μm?)?其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm?,?0.5μm等，可復(fù)選。

僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um 范圍內(nèi)累計(jì)分布的粒子群。高或亞高空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。1000-30萬級凈化室和100級以上的凈化室不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度成不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流。無塵車間系統(tǒng)：室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流，垂直層流和亂流，選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數(shù)。