腐蝕性能較強(qiáng)的氣體時(shí)，必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會(huì)由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴(yán)重時(shí)會(huì)出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時(shí)組織不發(fā)生變化。含碳過高的材料在焊接時(shí)，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導(dǎo)致我們的各項(xiàng)努力全部失去意義。

對(duì)于高純氣體及特種氣體輸送管道，必需采用一種特種處理的高純不銹鋼管，使高純管道系統(tǒng)在高純氣體配送中占有至關(guān)重要的使命。

特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工管理

超凈的氣體輸送管道系統(tǒng),是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,特種氣體指出，該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(、磷烷、烷、、等工藝氣體),以上氣體在下文中簡(jiǎn)稱“超凈氣體”。

二、有毒氣體,半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等；

三、助燃?xì)怏w,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃?xì)怏w接觸,將幫助燃燒,應(yīng)在儲(chǔ)運(yùn)使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體；

四、還有氣體性質(zhì)穩(wěn)定,也無毒性,但當(dāng)它們排放在不通風(fēng)的場(chǎng)所時(shí),空氣中氧含量降到18%以下時(shí),因缺氧會(huì)使人呼吸困難，若不能及時(shí)解救也會(huì)有危險(xiǎn)甚至，這類氣體有氮?dú)?、氬氣二氧化碳、氦氣等?

五、腐蝕性氣體，通常遇水就顯示其腐蝕性，如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時(shí)兼有多種性質(zhì)，在這些氣體輸送、儲(chǔ)運(yùn)、使用中應(yīng)予重視。

半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體不僅種類多，而且更重要的是對(duì)氣體品質(zhì)在很嚴(yán)格的要求。