潔凈室中的溫濕度控制：

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

    具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

    濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。

    在電子生產(chǎn)車間中，隨著人的進進出出，往往會帶進很多的灰塵顆粒，而高精密度的電子元器件，對于環(huán)境的要求特別的高，生產(chǎn)出來的電子元器件的質(zhì)量往往跟空氣中的懸浮灰塵顆粒有很大關系，所以在電子生產(chǎn)車間往往都要建設為無塵車間，保證空氣中的懸浮顆粒的數(shù)量以保證電子元器件的高質(zhì)量，無塵車間設備中的負離子凈化空氣系統(tǒng)能降低空氣中的懸浮顆粒物的濃度，讓電子生產(chǎn)環(huán)境更加的干凈。

保證凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風量：

即保證潔凈室內(nèi)的換氣次數(shù)，以滿足室內(nèi)氣流組織的需要。凈化空調(diào)系統(tǒng)在正常運行時，應定期對系統(tǒng)的送風量進行測定，測定點可選在送風機進出風口處和送風口處。因為系統(tǒng)的送風量在設計時是從能量的消耗量，室內(nèi)應有的氣流組織等諸方面來綜合考慮的。如果系統(tǒng)送風量過低，則會使?jié)崈羰覂?nèi)送風口處的氣流速度降低，從而破壞室內(nèi)的氣流組織形式，使室內(nèi)受到污染的空氣無法排出，達不到室內(nèi)要求的潔凈度標準。

系統(tǒng)送風量的減少可能會有以下幾個因素：

1）皮帶傳動的風機在運行一段時間后由于皮帶的拉長，而使風機轉速下降，從而風機輸送風量減少。

2）空氣過濾器容塵量達到蕞大值，從而使空氣阻力加大，風送不出去。