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廢氣處理塔體的上部為除霧段，氣體中夾住的吸收液霧滴在此清除，處理后的清潔空氣從廢氣凈化塔的上端排氣管排出到大氣中。廢氣收集-活性炭吸附塔-鼓風機-達標排放。活性炭吸附塔的油漆霧凈化器由二級干式過濾器、一級油漆霧過濾棉和一級過濾器構成。漆霧過濾棉主要過濾從干式過濾器中逃脫的微粒子和進一步分離漆霧中的稀釋劑。過濾器主要分離顆粒物，使顆粒物凈化效率達到99%以上。

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有機廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴散等工序，在這些工序中用有機溶液(如)清洗晶片表面，揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一:同時，在光刻、蝕刻等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的，如醋酸丁酯等有毒廢氣主要來源于晶體外延、干法蝕刻和CVD等工序，在這些工序中應用(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)、、三氯化硼等多種高純度特殊氣體處理晶體，部分特殊氣體具有性、窒息性和腐蝕性。

VOCs(揮發(fā)性有機物)與地面附近臭氧的生成密切相關，不僅危害人體健康，還與空氣中的氮氧化物產(chǎn)生物理化學反應，生成臭氧和PM2.5，是光化學煙霧、煙霧的重要原因。VOC有什么危害？VOC是許多不同產(chǎn)品散發(fā)的有機氣體，也稱為碳氫化合物。VOC蒸發(fā)是由足夠的壓力引起的。常見的室內(nèi)揮發(fā)性有機化合物來源于裝修建材、地毯、打印機、家具、涂料稀釋劑、膠水、化妝品和一些噴霧劑，以及塑料制品。

VOCs管理必須實施一企一策1.明確污染環(huán)節(jié)，實施分類管理，根據(jù)行業(yè)、企業(yè)、污染生產(chǎn)技術不同，VOCs排放特征不同，我們根據(jù)你的實際生產(chǎn)排放狀況和污染狀況，采用不同的管理技術2.重視技術細節(jié)對不同行業(yè)企業(yè)，采用不同的廢氣收集方式，廢氣處理技術，確保適合你的企業(yè)3.本質上，VOCs的生產(chǎn)專注于VOCS管理，堅持源頭收集、過程管理，兼顧末端防治理的全過程，廢氣處理技術，確保適合你的企業(yè)3.本質上，VOCS的生產(chǎn)作為一個企業(yè)，我們應該選擇那些齊全、施工案例多、行業(yè)聲譽好的VOCs管理廠家進行管理。