頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高i精度絕i對反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

1點(diǎn)1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測量項(xiàng)目：

絕i對反射率測量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

膜厚測試儀的預(yù)熱 　　關(guān)機(jī)超過3個小時開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”，將波譜校準(zhǔn)片放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設(shè)定測量時間為6S重復(fù)測量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵，等待自動連續(xù)測量完成。