氦質(zhì)譜檢漏儀

不僅耗能耗時，還會直接影響真空工藝條件，造成產(chǎn)品不合格等重大生產(chǎn)質(zhì)量問題。究其原因是由于真空系統(tǒng)設備存在泄漏所致，所以真空系統(tǒng)設備的真空系統(tǒng)需要進行檢漏。對于由各個組件組成的真空系統(tǒng)，各個組件本身存在的一些工藝瑕疵都會直接影響到系統(tǒng)的固有漏率

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氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點

180度非均勻磁場的質(zhì)譜室設計，對焦準確，靈敏度高。

檢漏口耐壓高，可檢漏率量程寬，大漏小漏全可檢。

離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲，壽命長、靈敏度高。

檢漏狀態(tài)下獨特的三屏切換，信息更豐富，檢漏更方便。

具有快速清氦功能和快速響應功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。

標準漏孔的自身要符合相關的質(zhì)量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質(zhì)的檢定機構；德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。標準漏孔要經(jīng)常檢定、校準。建議每年進行一次校準。

工業(yè)用氦：氦含量≥99%，≤43℃.

純氦分三級：優(yōu)等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。

高純氦分為三級：優(yōu)等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高，一般選用工業(yè)用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。