真空泵的特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現(xiàn)較高轉速；(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

旋轉真空泵又有如下幾種形式：① 油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新?lián)Q代產品，是獲得粗真空的主要設備。按其結構特點分為如下五種形式。a旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。

（3） 擴散泵：以低壓高速蒸汽流作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作?？煞譃椋孩?自凈化擴散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。

旋片真空泵旋片真空泵主要由泵體（靜子）和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。廣泛應用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉子連續(xù)轉動，泵便不斷抽氣。