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位移的測量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測,大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來測量。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率可達(dá)到納米級)、抗干擾能力強(qiáng)、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。普通直線電位器和圓形電位器都可分別用作直線位移和角位移傳感器。
電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。
電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系,從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。
所述電容傳感器固有地測量它的兩側(cè)之間施加壓力差。與該功能一致,該壓力儀器具有兩個螺紋端口,可以施加流體壓力。本章后面的部分將詳細(xì)介紹差壓變送器的實用性。如果電磁閥的驅(qū)動電源于直線位移傳感器供電電源同時在一起的時候,更容易出現(xiàn)以上的情況,情況嚴(yán)重時用萬用表的電壓檔甚至可以測量到電壓的有關(guān)波動。將傳感器的電容轉(zhuǎn)換為表示壓力的電子信號所需的所有電子電路都安裝在法蘭上方的藍(lán)色殼體中。電容壓力傳感原理的主品是羅斯蒙特3051型差壓變送器:
與所有差壓變送器一樣,3051具有兩個端口,流體壓力可通過這兩個端口施加到傳感器上。
電容傳感器結(jié)構(gòu)在3051中更復(fù)雜,傳感膜片的平面垂直于兩個隔離膜片的平面。這種“共面”設(shè)計比舊式傳感器更緊湊,更重要的是它將傳感膜片與法蘭螺栓應(yīng)力隔離開來。