氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氦質(zhì)譜檢漏方式 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)性是真空泵檢漏行業(yè)里必不可少的一種技術(shù)性，因?yàn)闄z漏率，簡單易實(shí)際操作，儀器設(shè)備反映靈巧，，不容易受別的氣體的干撓，在電阻爐檢漏中獲得了廣泛運(yùn)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是依據(jù)質(zhì)譜學(xué)基本原理，用氦氣作示漏氣體做成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、采l集器、冷陰極弱電解質(zhì)規(guī)構(gòu)成的質(zhì)譜室和抽真空系統(tǒng)軟件及電氣設(shè)備一部分等構(gòu)成。質(zhì)譜房內(nèi)的燈絲發(fā)射點(diǎn)出去的電子器件，在房間內(nèi)往返地l震蕩，并與房間內(nèi)氣體和經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)孔板進(jìn)到房間內(nèi)的氦氣互相撞擊使其弱電解質(zhì)成正離子，這種氦電離在加快靜電場功效下進(jìn)到電磁場，因?yàn)槁鍌惼澚πг斐善?，產(chǎn)生圓弧狀路軌，更改加快工作電壓可讓不一樣品質(zhì)的電離根據(jù)電磁場和接受縫抵達(dá)接受極而被檢驗(yàn)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中l(wèi)常見的二種方式 。

差壓氣密性檢測方式：也叫比較法，需要一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)無泄漏的產(chǎn)品(或者工件內(nèi)部容積與檢測產(chǎn)品容積相差不大的密封罐體)。 原理在密閉的待測品內(nèi)通入一定壓力的氣體，同時(shí)在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)品內(nèi)通入同樣壓力的氣體，靜止一段時(shí)間，觀察標(biāo)準(zhǔn)罐體內(nèi) 的壓力與工件內(nèi)的壓力差從而判定產(chǎn)品是否泄漏。此氣密性檢測儀檢測方式檢測精度高，但是通用性不強(qiáng)，需要兩個(gè)工裝， 檢測成本與壓降型相對(duì)高一倍。