12月24日，中國儀器儀表學會“科學技術獎”頒獎儀式在杭州舉行，中圖儀器申報的“基于熱穩(wěn)頻控制的高精度多參量激光干涉儀研制與產(chǎn)業(yè)化”項目榮獲2020年中國儀器儀表學會科技進步二等獎。

       中國儀器儀表學會科學技術獎是經(jīng)國家科技部批準，在國家科技獎勵主管部門注冊，經(jīng)國家科學技術獎勵工作辦公室頒證，由中國儀器儀表學會設立的面向全國儀器儀表領域的綜合性獎項，表彰在儀器儀表科技工作中做出突出貢獻的單位和個人，鼓勵自主創(chuàng)新、團結協(xié)作，促進科學研究、技術開發(fā)與社會發(fā)展密切結合，促進科技成果轉化，提高我國儀器儀表的綜合實力和水平。

本項目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識產(chǎn)權，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測量精度0.5ppm,**測量距離80米，技術指標達到國際先進水平。

SJ6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數(shù)控機床、自動化設備、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數(shù)控機床、三坐標測量機的精度補償。

SJ6000激光干涉儀滿足了我國各級計量院所、高端精密加工制造、先進數(shù)控機床、精密儀器等領域在高精度和大量程長度測量方面的需求，提升了我國自主的高精密激光測量水平和高端計量檢定裝備的水平。

不忘鑄器初心，牢記圖強使命，中圖儀器持續(xù)投資研發(fā)極小和極大尺寸的ODS超精密光學儀器，為3C電子、泛半導體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關鍵技術設備。