干泵：國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到很好的配置，選擇真空系統(tǒng)時，應(yīng)考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。

關(guān)于羅茨真空泵的性能特點

1、羅茨真空泵噪音低、風(fēng)機進、排氣口采用螺旋形狀，使進、排風(fēng)過程按螺旋線的方向循序切入，避免了舊式羅茨鼓風(fēng)機排風(fēng)時瞬間爆發(fā)的脈動噪音和振動。

2、啟動快，耗功少，運轉(zhuǎn)維護費用低，抽速大、效l率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感

3、性能穩(wěn)定。羅茨鼓風(fēng)機風(fēng)機轉(zhuǎn)子、機殼、墻板、軸等關(guān)鍵零件，均采用先進的控加工設(shè)備，使零部件的互換性提高。

4、振動小。盡管轉(zhuǎn)子經(jīng)過精密加工，已成平衡狀態(tài)，但仍采用高l精度的動平衡設(shè)備進行平衡。

5、絕熱效率和容積效l率高，因而節(jié)能。羅茨風(fēng)機轉(zhuǎn)子采用先進的復(fù)合曲線，嚙合更加合理，并且增大了容積效率。

6、采用高l精度、高硬度的同步齒輪，不僅使羅茨真空泵的壽命得到延長，還有效降低了噪音。