電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種：

　　1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→陽床→陰床（復(fù)床）→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)

　　2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設(shè)備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)

　　3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設(shè)備→RO水箱→（EDI）泵→保安過濾器→紫外線→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)

超純水制造歷史進(jìn)程

　　一階段：預(yù)處理——>陽床——>陰床——>混合床

　　第二階段：預(yù)處理——>反滲透——>混合床

　　目前階段：預(yù)處理——>反滲透——>EDI(無需酸堿)

　　傳統(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需要，于是將膜、樹脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。

如何保障超純水設(shè)備制取的超純水水質(zhì)不變？

　　一般情況，超純水不會存儲而是直接通過循環(huán)管道輸送到超純水使用點(diǎn)。超純水設(shè)備制取的水對儲存的要求很高，不能與空氣接觸，否則就會與空氣發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生污染。因?yàn)橹迫〕鰜淼某兯遣缓魏坞x子或者有機(jī)物等，只要與空氣接觸了就無法保證超純水的水質(zhì)。而且安裝了超純水設(shè)備都是可以隨時(shí)用隨時(shí)運(yùn)行設(shè)備制取的，儲存反而增加了勞動量。