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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
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質量流量控制器原理
質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。質量流量控制器具有體積小,數字化程度高,安裝方便,測雖確等優(yōu)點。質量流量控制器可用于玻璃、太陽能、大氣監(jiān)測、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保等各種工業(yè)企業(yè)的氣體管路分配控制、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際工況的體積流量測量和監(jiān)控。流量器安裝使用注意事項前置直管段1)熱分布式本類儀表對上下游配管布置不敏感,通常認為無上下游直管段長度要求。
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流量控制器
氣體質量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。流量控制器質量流量控制器在正常工作時,流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現(xiàn)的,簡稱科氏力。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。