氦質(zhì)譜檢漏儀特點

1，獨特的氣路設(shè)計，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間，有效防止氦污染。2，檢漏口配備：定制精密過濾裝置，可有效避免雜物顆?；蜚~粉進入儀器內(nèi)部。3，多模式功能輸入、輸出，輕松連接各種自動化設(shè)備。4，機械與電路有效分開，避免了溫度、電磁場等彼此干擾，使檢漏儀運行更加穩(wěn)定、可靠。5，可檢漏率低，靈敏度高，檢測量程達到11級。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內(nèi)充滿氦氣，用質(zhì)譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質(zhì)譜儀檢測到。質(zhì)譜檢漏儀是一種簡易的質(zhì)譜儀，對分辨率和檢測的質(zhì)量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質(zhì)譜儀都可用來作為檢漏質(zhì)譜儀。

    

氦質(zhì)譜檢漏的原理

氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。