潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時,應(yīng)符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

潔凈廠房的安全出口設(shè)置,應(yīng)符合下列規(guī)定

潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。2．工廠裝修時要給每一生產(chǎn)層、每個防火區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。3．安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗.

做好凈化車間,搬運(yùn)是不能小看的

另外就是搬運(yùn)，任何一項(xiàng)工程中，不可能沒有搬運(yùn)的過程。做好凈化車間，搬運(yùn)是不能小看的，搬運(yùn)主要是分為三個工程，首先是搬運(yùn)之前的準(zhǔn)備，需要把潔凈空調(diào)安裝好，確保能夠盡快使用。其次，搬運(yùn)過程中，一定要防止有相關(guān)器材出現(xiàn)污染現(xiàn)象，而且由于搬運(yùn)肯定會有不同程度的震動，但是仍然需要盡可能減少震動，防止出現(xiàn)設(shè)備損壞，還要減少噪音。后是安裝好之后，凈化車間工作人員要統(tǒng)一好服裝、口罩等等，檢查符合了標(biāo)準(zhǔn)，才能夠上崗?fù)度氲焦ぷ髦小?/p>

有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法

現(xiàn)今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無塵凈化車間不僅能對產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。對于有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其他的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。