被抽氣體的溫度可能過高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個相應(yīng)的換熱器。愛發(fā)科VDN901旋片真空泵專修泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。愛發(fā)科VDN901旋片真空泵專修配合的間隙改大。（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過大，更換新的零部件。

由于真空泵在高速工作的情況下會形成，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速過快會形成支持轉(zhuǎn)子的軸承發(fā)熱。

軸承損壞：軸承翻滾體及軸承保持架損壞后都會伴有軸承過熱的表象呈現(xiàn)。軸承損壞有必要及時替換新軸承。

光滑表象：光滑脂增加量過大過小，或光滑脂類型不符合，其使用時間過長或許光滑脂被污染都會形成軸承發(fā)熱。此刻，應(yīng)查看光滑脂類型，問詢廠家適宜的用量，調(diào)整好光滑脂即可康復(fù)軸承溫度。

轟動影響：當(dāng)泵體或軸承轟動較大時都會發(fā)生軸承溫度過高的表象，查看泵體找出轟動緣由，消除轟動，則軸承溫度康復(fù)。

愛發(fā)科VDN901旋片真空泵專修

清洗吸氣過濾網(wǎng)吸氣濾網(wǎng)應(yīng)保持清潔，以免抽速下降。

更換排氣過濾器如果泵溫明顯升高、電動機(jī)電流達(dá)到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產(chǎn)生，則應(yīng)檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應(yīng)及時更換?？稍诒眉佑涂滋幇惭b排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當(dāng)壓力超過0.6bar（表壓力）時可更換排氣過濾器。

貯藏如果泵長期擱置不用，應(yīng)將油放盡并清洗泵，然后注入規(guī)定的新油放置在干燥場所。

針對真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專業(yè)的安裝方式完工。

愛發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

低噪音、低振動、的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。