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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
離子滲氮研究所生產(chǎn)的各類中高1檔輝光離子滲氮爐設(shè)備已在航空、發(fā)動機曲軸、模具、軸承、工具、閥門、齒輪、工程機械、建筑機械基礎(chǔ)件等各機械行業(yè)及大中院校得到廣泛的應用,部分產(chǎn)品出口到東南亞、俄羅斯、美國等國家和地區(qū)。
輝光離子滲氮的特點有:離子轟擊有凈化表面作用,自動去除鈍化膜,不銹鋼、耐熱鋼材料無需預先去除鈍化膜,可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。化合物層結(jié)構(gòu)、滲層厚度和組織可以控制。處理溫度范圍較寬,即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。
雙極性脈沖中頻靶電源一般帶孿生靶或雙靶運行。磁控靶的陰極接靶電源負極,陽極接靶電源正極,進入正常濺射時,一定是在氣體放電伏-安特性曲線中的“異常輝光放電區(qū)段”?運行。兩個靶的工作電壓極性相反同時又不斷互換極性,電壓極性為負時的磁控靶發(fā)生濺射,極性為正時的那個磁控靶不產(chǎn)生濺射。??由于陰陽極間電場正負極性來回變化,使電子路徑延長,與工作氣體碰撞次數(shù)增加,故單個磁控靶承載同樣功率(其它真空環(huán)境條件相同)時,選用雙極脈沖中頻靶電源比用純直流靶電源和脈沖直流中頻靶電源時,工作氣體的離化幾率和靶材的沉積速率均要高一些。??磁控靶陰極電壓極性為負時,其單脈沖氣體放電應與直流氣體放電伏-安特性曲線異常輝光放電段及之前段的變化規(guī)律(趨勢)相符。??