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發(fā)布時間:2020-08-24 05:15  







物理氣相堆積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好、薄膜均勻細(xì)密、薄膜厚度可控性好、運(yùn)用的靶材廣泛、濺射規(guī)模寬、可堆積厚膜、可制取成分安穩(wěn)的合金膜和重復(fù)性好等長處。一同,物理氣相堆積技術(shù)由于其工藝處理溫度可控制在500℃以下,因而可作為處理工藝用于高速鋼和硬質(zhì)合金類的薄膜刀具上。文章到這里,大家都了解清楚了嗎?有疑問需要的朋友,隨時聯(lián)系我們哦。


又稱增透膜,它的主要功能是減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學(xué)表面的反射光,從而增加這些元件的透光量,減少或消除系統(tǒng)的雜散光。

簡單的增透膜是單層膜,它是鍍在光學(xué)零件光學(xué)表面上的一層折射率較低的鍍膜。當(dāng)鍍膜的折射率低于基體材料的折射率時,兩個界面的反射系數(shù)r1和r2具有相同的。

位相變化。如果膜層的光學(xué)厚度是某一波長的四分之一,相鄰兩束光的光程差恰好為π,即振動方向相反,疊加的結(jié)果使光學(xué)表面對該波長的反射光減少。適當(dāng)選擇膜層的折射率,使得r1和r2相等,這時光學(xué)表面的反射光可以完全消除。



由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質(zhì)膜加以保護(hù)。常用的保護(hù)膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。金屬反射膜的優(yōu)點(diǎn)是制備工藝簡單,工作的波長范圍寬;缺點(diǎn)是光損耗大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進(jìn)一步提高,可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層,組成金屬電介質(zhì)反射膜。需要指出的是,金屬電介質(zhì)反射膜增加了某一波長(或者某一波區(qū))的反射率,卻破壞了金屬膜中性反射的特點(diǎn)。


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