無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。在制藥和生物工學工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性的病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場，清洗真正地是一個很重要的企業(yè)。

凈化手術室由于手術室要嚴格控制低細菌數及低嘛醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術室的重要驗收指標。由于歐美手術室潔凈標準與中國環(huán)境存在細微差別，常規(guī)的國際標準和國內區(qū)域行業(yè)標準都普遍難于確保手術室凈化的長期穩(wěn)定（一般只能3-10年重建、低檔工程1年即需要翻新），所以在工程質量方面出現(xiàn)了明顯的檔次劃分。應遠離廁所、污水區(qū)、牲，圈等污穢（wū huì）場所。

車間的設計是綜合考慮空氣凈化系統(tǒng)的布置、流型的選擇和管道系統(tǒng)的布置等，進行建筑物平面和斷面的設計，并在工藝步驟的基礎上，正確處理潔凈室與非潔凈室和不同潔凈室之間的關系，使要求潔凈度高、潔凈度要求低的房間處于正壓狀態(tài)，提高氣密性。還要注意建筑物內部的噪聲控制，隔離外部噪聲干擾，注意防火，以及緊急情況下人員的安全疏散。人員和材料入口應分開設置，以避免人員和物流線之間的往返。純化流線應清晰，短而且經過反純化。