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大學(xué)實(shí)驗(yàn)室氣路規(guī)范、醫(yī)院實(shí)驗(yàn)室氣路工程、物理實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、科研實(shí)驗(yàn)室集中供氣、實(shí)驗(yàn)室氣路改造工程
【源燈籠科技】專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)室氣路管道工程施工與改造。
表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速?zèng)_刷下,產(chǎn)生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
抗腐蝕性
微電子生產(chǎn)中,經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體,這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會(huì)被腐蝕,輕則表面產(chǎn)生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會(huì)發(fā)生危險(xiǎn)事故。
出氣速率
材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì),如氮、碳?xì)浠衔锏?,在高純氣體輸送過程中,這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來,污染高純氣體,尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
氣缸間布置
1、集中供氣系統(tǒng)儲(chǔ)存的氣體屬于燃?xì)怏w和燃料氣,必須按照國(guó)家規(guī)定分開儲(chǔ)存。把它們放在不同的隔間里。
2、氣瓶室設(shè)有調(diào)壓板。四套鍍銅和鍍鉻面板由兩個(gè)支架和一條側(cè)帶清潔。
3、應(yīng)在調(diào)節(jié)器入口前安裝燒結(jié)金屬過濾器,以防止雜質(zhì)(如顆粒)污染系統(tǒng)。