真空熱處理幾乎可實現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻、氮化，在淬火工藝中可實現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，它與普通熱處理相比較具有以下優(yōu)點。

而真空熱處理由于金屬是在一定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣接觸，工件沒有氧化，無脫碳，可以得到光亮的表面及較好的熱處理質(zhì)量，同時在真空狀態(tài)下，也不會發(fā)生還原反應(yīng)，也就不會發(fā)生增碳現(xiàn)象。從下面工件表面添加保護(hù)劑后與真空淬火時的金相圖比較，可較明顯看到真空熱處理的優(yōu)勢所在。

加熱元件形式真空爐加熱元件的形式和材料有一定的不同一般以板式和棒式為多材料為高質(zhì)量石墨。近年來CFC碳碳復(fù)合材料的出現(xiàn)表現(xiàn)出較大的技術(shù)優(yōu)勢有取代石墨的趨勢。同樣功率的情況下CFC材料厚度薄相對蓄熱小有利于提高冷卻速度。

功能購置爐子要考慮工藝的通用性即淬火回火使用溫度范圍要寬。特別是處理高合金鋼回火溫度較高并且淬火后不出爐直接進(jìn)行回火十分方便。

所謂深冷處理，一般將0～100℃的冷處理定義為普通冷處理，將-130℃以下的處理稱為深冷處理，它是新的強韌化處理工藝之一。深冷處理按照工藝可分為深冷急熱法和冷熱循環(huán)法兩種。冷熱循環(huán)穩(wěn)定化處理是先將零件冷卻到-40℃～-90℃或者更底的溫度，保溫一定時間，然后再把零件加熱到不致降低零件機械性能的某一溫度（通常為80℃～190℃），保溫一段時間并重復(fù)多次這種循環(huán)過程。

脫裂，在某些回轉(zhuǎn)體零件（如車輪、齒輪等）和圓柱體零件（如軸、銷類）淬火時，有時在輪緣、齒圈和軸肩等部位乃至全部脫（崩）落的淬裂現(xiàn)象，就是脫裂。⑴脫裂的形成規(guī)律①脫裂的產(chǎn)生的條件：熱處理條件：表面加熱淬火回轉(zhuǎn)體零件和圓柱體零件，也產(chǎn)生在普通淬火的該類零件上。大多數(shù)脫裂產(chǎn)生在水冷淬火工藝條件下，油冷很少見。金相條件：大量金相分析確定，在形成脫裂的區(qū)域附近，有馬氏體和屈氏體兩相組織存在是脫裂形成的必要且充分條件。表面淬火時，在馬氏體組織和原始組織區(qū)的珠光體型組織的分布，一般由相應(yīng)的工藝條件決定。從工藝上采取措施（如端部留軟帶），消除截面組織的差異，便消除了脫裂賴以產(chǎn)生的組織條件。普通淬火時，通常由于局部幾何結(jié)構(gòu)的緩決定。如軸肩截面過渡處便是可能產(chǎn)生緩幾何結(jié)構(gòu)形式。由于不同原因（如水溫過高）造成淬火介質(zhì)冷卻能力下降，導(dǎo)致軸類零件的端面、軸階端面和其它具有局部幾何結(jié)構(gòu)緩的部位產(chǎn)生截面組織差異，進(jìn)而形成脫裂。脫裂的形成和擴展都在全馬氏體組織區(qū)內(nèi)進(jìn)行的。生產(chǎn)中形成的大多數(shù)脫裂，都是在馬氏體無過熱特征的情況下產(chǎn)生的，個別情況下也有馬氏體十分粗大的現(xiàn)象。