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什么是流量控制器?
質(zhì)量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。(3)地定量控制流量質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
流量控制器的控制響應速度
物理時間常數(shù)
物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示,是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應時間的標準之一,即:控制器到達設定值某個百分比所需要的時間,被定義為1-1/e, 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù),其值為2.72,所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準,可能說明不了什么問題,因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到:ALICAT?質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分,還帶有-個電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥,這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成-個閉環(huán)系統(tǒng),用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。
任意設定值百分比變化區(qū)域
不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設備響應速度,比如:從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應曲線變化,由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示,ALICAT?與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,設定電位器,外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值, 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言,如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話,那么結(jié)論是6~7毫秒。
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流量控制器的具體內(nèi)容
1.提高開表率在儀表設備管理中,開表率的定義是:(儀表總臺數(shù)一未正常使用的儀表臺數(shù))/儀表總臺數(shù)。因此,提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。
2.節(jié)省費用這里所說的費用除了儀表購置費之外,還應計入附件購置費、安裝調(diào)試費、運行費、備品備件費、維護和定期校準(檢定)費,而質(zhì)量流量控制器的平均壽命攤?cè)氲恼叟f費也不是可忽視的。
3.提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報警的流量儀表如果不可靠,應該聯(lián)鎖動作時不動作,容易釀成事故,不該動作時亂動作,容易導致不應有的停車,造成損失。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠,造成流路堵塞,容易導致爐子熄火,釀成事故。用于過程控制的流量儀表如果不可靠,容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯誤信息,導致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào),破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定,影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗,造成損失??梢钥闯觯髁績x表的可靠性是較為重要的。流量控制器容易受這幾個方面的影響質(zhì)量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償,可根據(jù)需要進行流量設定,自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。