ST系列鍍膜機(jī)

ST系列鍍膜機(jī)系我司標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，滿足大部分實(shí)驗(yàn)室科研需求，豐富的可選配置也可響應(yīng)您的特殊需要。特點(diǎn)：1、集成一體化結(jié)構(gòu)。

2、極限真空度高，可達(dá)7×10-5Pa，可保證更高的鍍膜純凈度，提高鍍膜質(zhì)量。

3、從大氣到工作背景真空（7×10-4Pa）時(shí)間短，30分鐘左右（充干燥氮?dú)猓?系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤8Pa。

4、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu)，密封性能好，防塵防水，安全。

5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。

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CT系列鍍膜機(jī)

CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品，根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì)，滿足您的特殊需要。

特點(diǎn)：1、按需開發(fā)，量身定制。

2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu)，密封性能好，防塵防水，安全。

3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選

4、可集成手套箱系統(tǒng)

5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用

想了解更多產(chǎn)品信息，您可撥打圖片上的電話咨詢！艾明坷竭誠為您服務(wù)！

真空鍍膜機(jī)的真空室設(shè)計(jì)方法

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位，真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)必須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，材料對真空度的影響要小，設(shè)計(jì)不能馬虎，要注意一些問題。

使用磁控濺射的真空鍍膜機(jī)一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空，因氣袋會(huì)緩慢的放氣，因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴，真空系統(tǒng)上端會(huì)加裝磁控濺射槍，為了使真空室和元件有足夠的強(qiáng)度，保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化，厚度需要足夠。

焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序，保證焊接之后的真空室不會(huì)產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，須合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu)，提高焊接質(zhì)量，處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔，須特別注意的是需做好防止生銹的措施。

真空鍍膜機(jī)檢漏

要承認(rèn)漏氣究竟的虛漏仍是實(shí)漏，因?yàn)楣ぜY料加熱后都會(huì)在不同程度上發(fā)生氣體，有也許誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這即是虛漏，要掃除這種狀況。

第二，測驗(yàn)好真空室的氣體密封功能，確保氣密功能符合要求。

第三，查看漏孔的巨細(xì)，形狀、方位，漏氣的速度，制備出可處理方案并施行。

第四，斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性，以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況，防止一些漏孔被疏忽，進(jìn)步檢漏的準(zhǔn)確性。

第五，掌握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)刻和消除時(shí)刻，把時(shí)刻掌握好，確保檢漏儀器作業(yè)到位，時(shí)刻少了，檢漏作用必定差，時(shí)刻長了，糟蹋檢漏氣體和人工電費(fèi)。

第六，還要防止漏孔阻塞，有時(shí)因?yàn)椴僮魇д`，檢漏過程中，一些塵?；蛞后w等把漏孔阻塞了，以為在該方位沒有漏孔，但當(dāng)這些阻塞物因?yàn)閮?nèi)外壓強(qiáng)區(qū)別進(jìn)步或別的緣由使漏孔不堵了，那漏氣仍是存在的。