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東莞半導(dǎo)體分選機(jī)用電氣比例閥-誠(chéng)信企業(yè)「上海費(fèi)爾頓」

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發(fā)布時(shí)間:2021-10-03 09:30  






輸入信號(hào)增大,供氣用電磁閥先導(dǎo)閥1換向,而排氣用電磁先導(dǎo)閥7處于復(fù)位狀態(tài),則供氣壓力從SUP口通過(guò)閥1進(jìn)入先導(dǎo)室5,先導(dǎo)室壓力上升,氣壓力作用在膜片2的上方,則和膜片2相連的供氣閥芯4便開(kāi)啟,排氣閥芯3關(guān)閉,產(chǎn)生輸出壓力。此輸出壓力通過(guò)壓力傳感器6反饋至控制回路8。在這里,與目標(biāo)值進(jìn)行快速比較修正,直到輸出壓力與輸入信號(hào)成一定比例為止,從而得到輸出壓力與輸入信號(hào)的變化成比例的變化。由于沒(méi)有噴嘴擋板機(jī)構(gòu),故閥對(duì)雜質(zhì)不敏感,可靠性高。












①力控制型:這類電磁鐵的行程短,只有1.5 mm,輸出力與輸入電流成正比,常用在比例閥的先導(dǎo)控制級(jí)上。②行程控制型:由力控制型加負(fù)載彈簧共同組成,電磁鐵輸出的力通過(guò)彈簧轉(zhuǎn)換成輸出位移,輸出位移與輸入電流成正比,工作行程達(dá)3 mm,線性度好,可以用在直控式比例閥上。應(yīng)用廣泛的比例電磁鐵是耐高壓直流比例電磁鐵。





比例閥是在通斷式控制元件和伺服元件的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型的電一液控制元件,故稱為電液比例閥。這種閥從閥的基本結(jié)構(gòu)和動(dòng)作原理來(lái)講與通斷式液壓閥更接近或相同;但比例閥輸人的是電流信號(hào)而輸出的是液壓參數(shù)(壓力、流量等),只要改變輸入電流的大小,就能實(shí)現(xiàn)連續(xù)比例地改變輸出的壓力或流量,因而其控制原理又同伺服控制閥是相同的,而與通斷式液壓閥又是不相同的。通常比例閥用在開(kāi)環(huán)控制的液壓系統(tǒng)中。





比例閥的工作原理是指令信號(hào)經(jīng)比例放大器放大,電流按比例輸出到比例閥的比例電磁鐵。比例電磁鐵輸出力,按比例移動(dòng)閥芯的位置,可以控制流量,按比例改變液體流動(dòng)的方向,從而實(shí)現(xiàn)執(zhí)行器的位置或速度控制。在一些具有高位置或速度精度的應(yīng)用中,可以通過(guò)測(cè)量致動(dòng)器的位移或速度來(lái)形成閉環(huán)控制系統(tǒng)。比例閥由DC比例電磁鐵和液壓閥組成。比例閥連續(xù)控制的是比例電磁鐵的使用。比例電磁鐵有很多種,但工作原理基本相同


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