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無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至?,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間?!瘟飨蛐蜔o塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。
無塵潔凈室中的三塵。清潔室內(nèi)用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外,尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的好凈化設備之一,它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
對于穿著的潔凈服,建議每周更換一到兩次,或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個程序上的規(guī)定也不一樣。必須時刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。搬遷設備時為免破壞地板支架及地板表面,必須事先于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板,作為輔助。與地板接觸會污染衣服。如果需要戴手套,必須使用潔凈室專用的無粉乳膠手套或者膠手套。因為有的人對乳膠中的蛋白質(zhì)過敏,如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點,建議改用膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換,但不能在潔凈室里更換,只能在更衣室里更換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套,應該慢慢地把手套從手上退下來。