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真空泵
深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。1MPa后,重復(fù)檢漏儀的檢漏操作,如果隔層滲氣,氣體將進(jìn)入爐室被檢漏儀檢測(cè)。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。
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羅茨泵從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看,國(guó)外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)另外,還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。其次,由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
分子泵分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。工作條件:①檢漏儀要工作必須使檢漏儀內(nèi)部真空系統(tǒng)正常工作,因此檢漏儀機(jī)械泵8、分子泵1和電磁閥V1串聯(lián)工作,達(dá)到質(zhì)譜室所需要的高真空,滿足離子源可靠工作時(shí)即達(dá)到檢漏儀工作條件,即我們所說(shuō)的自檢通過(guò)。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場(chǎng)合的需要。
深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn),為您解決后顧之憂,歡迎您撥打電話~~~
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真空設(shè)備檢漏
深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。實(shí)漏主要是由于氣體通過(guò)系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側(cè)流向低壓側(cè)的過(guò)程,屬于設(shè)備自身問(wèn)題,也是本文研究與解決的重點(diǎn)問(wèn)題。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。
真空設(shè)備檢漏與維修
深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。
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為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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