氦質譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應用氦質譜檢漏，檢漏時構造一個臨時的密閉空間，利用氦質譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點（泄漏指標異常處）。氦質譜檢漏儀操作簡單，響應快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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氦質譜檢漏儀是借鑒了國外的先進檢漏技術以及多年質譜生產經驗設計而成。氦質譜檢漏儀的關鍵部件均采用進口部件，性能穩(wěn)定可靠。氦質譜檢漏儀不但靈敏度高，并且操作方便，能夠進行雙燈絲自動切換、系統(tǒng)自動調零、自動校準及自動量程切換，目前已經達到水平。

氦質譜測漏儀的準確性

氦質譜測漏儀應用廣泛，隨著科技的進步，對科研器材要求更加嚴格；生產工藝的改進，對產線的性能要求更高；以及化工企業(yè)，管路的嚴密性好壞直接關系安全；電廠的管路嚴密，直接關系到節(jié)約多少能源等等。所有這些，都需要使用氦質譜檢漏儀來完成檢測任務。保證標準漏孔的準確，就是保證氦質譜檢漏儀檢測結果的準確性。

氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。氦的質量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|量為4），易于穿過漏孔。