光學(xué)微電子凈化工程一般包括：潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風(fēng)淋室管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)光學(xué)微電子凈化工程凈化原理氣流→初效空氣過濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過濾器凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→空氣過濾器凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效空氣過濾器凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。


影響無塵凈化車間成本的幾大因素：空間因素有車間面積和車間層高兩個(gè)方面組成，它直接影響內(nèi)部裝修圍護(hù)的成本：彩鋼板隔墻及天花面積；空調(diào)投入成本：所需空調(diào)負(fù)荷的區(qū)域體積、空調(diào)的送回風(fēng)方式、空調(diào)的管路走向及空調(diào)末端的數(shù)量。除了空間、環(huán)境兩大塊要求之外，有些影響凈化車間達(dá)標(biāo)的因素經(jīng)常被設(shè)計(jì)方或者籌建商忽略，導(dǎo)致溫濕度超標(biāo)。比如，外界氣候考慮不、未考慮設(shè)備排氣量、未考慮設(shè)備發(fā)熱量、未考慮設(shè)備產(chǎn)塵量、未考慮大量人員同時(shí)工作產(chǎn)濕量等等。