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潔凈室的劃分是以單位體積內(nèi)所含灰塵數(shù)來計(jì)算的,數(shù)目越小表示潔凈等級(jí)越高,一般每一級(jí)的劃分都有不同直徑灰塵數(shù)的要求,比如一般藥廠、汽車4s店,十萬級(jí)或萬級(jí)就夠了,但這對(duì)電子行業(yè)(尤其是微電子行業(yè))僅僅是di要求,比如半導(dǎo)體行業(yè)等級(jí)要求di的測(cè)試間一般都不能高于1萬級(jí),但對(duì)于潔凈要求嚴(yán)格的如光刻間,基本上都是百級(jí),甚至十級(jí)的。但要注意,由于灰塵無處不在,所以jue對(duì)的0級(jí)是不可能存在的。
在潔凈室清洗潔凈工作服過程中應(yīng)注意的事項(xiàng)如下:
1.新縫制的潔凈工作服可直接進(jìn)行洗滌,而回收穿過的潔凈工作服發(fā)現(xiàn)油污,應(yīng)仔細(xì)去除油污再進(jìn)行洗滌程序。
2.洗滌前要對(duì)擦破、損壞及搭扣等附屬品進(jìn)行檢查,對(duì)有缺陷的要修理、更換或報(bào)廢。
3.必須在比使用工作服的潔凈室的潔凈度高的潔凈室中進(jìn)行清洗、烘干、捆包。
4.濕式、干式清洗用的水要過濾,溶劑也要蒸餾之后在使用點(diǎn)上用小于0.2μm孔徑的濾膜,根據(jù)需要進(jìn)行一次以上的過濾。
5.為了除去水溶性污染物,用清水洗滌后,再用蒸餾過的溶劑進(jìn)行后的洗滌,除去油性污染物。
6.濕式洗滌用水溫度如下:聚酯布 60-70C 蕞高70C. 尼龍布 50-55C 蕞高60C.
7.在后漂洗透水時(shí),可以用抗靜電劑以提高抗靜電特性,但選用的抗靜電劑應(yīng)與纖維結(jié)合良好,無粉塵脫落。
8.有搭扣的工作服,應(yīng)在扣合狀態(tài)下洗滌。凈化車間
9.在洗滌專用的潔凈空氣循環(huán)系統(tǒng)中進(jìn)行干燥。
潔凈室中的溫濕度控制:
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。
如何進(jìn)入無塵潔凈室:
1、任何進(jìn)入無塵潔凈室的人,必須先進(jìn)入無塵更衣室,穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴。經(jīng)過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無塵潔凈室之外,但這才是步。
2、接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長廊”,不過在這條長廊中吹出來的強(qiáng)風(fēng)是沒有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和,而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上。
3、走過風(fēng)淋室后,就進(jìn)入無塵潔凈室了。如果無塵潔凈室生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電,則還要經(jīng)過“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)潔凈室還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。