凈化設(shè)備運(yùn)用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進(jìn)行協(xié)同分解氧化反應(yīng)，使惡臭氣體物質(zhì)其降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風(fēng)管道排出室外。四、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，達(dá)到脫臭及殺滅細(xì)菌的目的．廢氣直接通入曝氣池法是將從格柵間。

該法適用于有機(jī)廢氣濃度高、溫度低、風(fēng)量小的工況，需要附屬冷凍設(shè)備，主要應(yīng)用于制藥、化工行業(yè)，印刷企業(yè)較少采用。2、吸附法：(1)直接吸附法：有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附，可達(dá)95%以上的凈化率，設(shè)備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運(yùn)輸、更換等工作程序，導(dǎo)致運(yùn)行費(fèi)用增加。(2)吸附-回收法：用纖維活性炭吸附有機(jī)廢氣。

放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解等離子體去除污染物。該方法具有處理效果好，運(yùn)行費(fèi)用低廉、無二次污染、運(yùn)行穩(wěn)定、操作管理簡便、即開即用等優(yōu)點(diǎn)。

涂裝烘干過程烘道中需要不斷抽出廢氣和補(bǔ)充新鮮空氣，以使烘道氣體中有機(jī)成分低于其極限，烘干有機(jī)廢氣中的有機(jī)成分主要為和油漆高溫固化反應(yīng)的產(chǎn)物，廢氣中有機(jī)成分含量一般達(dá)到1000mg/Nm3以上，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過《標(biāo)準(zhǔn)》要求，均需處理后才能排放。烘干有機(jī)廢氣常用的廢氣凈化設(shè)備有催化燃燒裝置、蓄熱式熱力焚燒裝置和廢氣焚燒爐，下面分別介紹。