電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導體材料，電子氣體2016年的國內(nèi)市場需求為48.02億，占比14%。電子特種氣體中高產(chǎn)品被國外壟斷，該領(lǐng)域主要生產(chǎn)廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團、法國液化空氣、日本酸素，合計市場占有率達85%。據(jù)全球半導體協(xié)會統(tǒng)計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全數(shù)據(jù)統(tǒng)計，從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)實際生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，雖然國內(nèi)電子氣體占比有了大幅的提升，但其生產(chǎn)總量仍然無法滿足國內(nèi)市場需求，電子特種氣體品種及產(chǎn)量亟待提升。

在整個行業(yè)供應鏈中，氣體原料、裝置、運輸和客戶十分重要，是氣體供應商的利潤來源。如今氣體產(chǎn)品種類繁多，客戶對氣體產(chǎn)品存在多元化需求，往往在某一終端產(chǎn)品的制造中所需氣體種類達幾十種以上，出于成本控制、倉儲管理、供應穩(wěn)定等多方考量，客戶更愿意在一家氣體公司采購，因此希望氣體公司覆蓋更多的氣體種類；此外，下游的行業(yè)產(chǎn)品精細化程度不斷提高，客戶所需的產(chǎn)品定制化特點明顯，并希望供應商提供氣體運輸以及裝置處理、檢修、潔凈、維護等服務，故而對氣體公司提出了技術(shù)性、專業(yè)性、綜合性的更高要求。

特殊性質(zhì)標準氣體的配制：

1、性質(zhì)活潑的標準氣體的配制

有些氣體性質(zhì)特別活潑，極易與氧、水包裝容器材料發(fā)生反應而使?jié)舛劝l(fā)性變化，這些氣體以往都是用安瓿瓶、飽和蒸氣壓等方法少量配制，不宜長途運輸及長期貯存。20世紀80年代，美國NIST及一些特氣公司如SCOTT等通過實驗，研制出鋼瓶的內(nèi)涂層技術(shù)。該技術(shù)有效地防止了活性氣體與鋼瓶內(nèi)壁發(fā)生反應，使得氣體的穩(wěn)定性增大，但氣體的穩(wěn)定性只限于半年，較長不超過一年，配制濃度低時保存時間較短，而且該方法配制的標準氣體沒有形成量值傳遞與溯源。

2、揮發(fā)性有機化合物標準氣體的配制

揮發(fā)性有機化合物是研究室內(nèi)空氣污染的重要指標，以前配制此類標準氣體均采用滲透法或擴散法，通過改變溫度和擴散管的幾何形狀而得到不同濃度的標準氣體。美國早在20世紀80年代初期就研制出用毛細管準確稱量微量液體的方法。目前，已經(jīng)有多達39種可溯源的NIST量值的VOCs標準氣體。

稱量法是標準氣體配制的經(jīng)典方法

稱量法是國際國內(nèi)標準氣體配制的經(jīng)典方法。以往通常使用精密機械天平作為標準氣體的配制工具，天平稱量過程的不確定度評定和計算也已經(jīng)有了一套比較成熟的方法。近些年來，隨著電子天平技術(shù)的發(fā)展，利用精密電子天平來配制標準氣體越來越多。由于設(shè)備原理和稱量程序的不同，原來的不確定度評定方法不完全適用于電子天平的稱量過程，必須研究新的評定方法以適應新技術(shù)應用的需要。

適用范圍

稱量法是國際標準化組織推薦的方法。它只適用于組分之間、組分與氣瓶內(nèi)壁不發(fā)生反應的氣體，以及在實驗條件下完全處于氣態(tài)的可凝結(jié)組分。任何可凝結(jié)組分，當在較低使用溫度下其分壓超過它的飽和蒸氣壓的70%時，就不能使用。