1、無塵室廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點(diǎn)和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。

    2、無塵室廠區(qū)功能設(shè)施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設(shè)施以外,還應(yīng)配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時(shí)堆放場地、停車庫、機(jī)修、飯?zhí)玫容o助設(shè)施.輔助設(shè)施必須因地制宜,按實(shí)際需要配套,缺一都會影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進(jìn)行。無塵室的缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。

    3、設(shè)置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內(nèi)其它廠房設(shè)施之間的相對位置,適用于遠(yuǎn)離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風(fēng)側(cè),并有一定防護(hù)距離的原則。

無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：

　   不攜入

　　在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

　　作業(yè)員進(jìn)入無塵室前，機(jī)臺、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

　　進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無塵室。

　　機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。

　　無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

　　無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，負(fù)離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。