離子束刻蝕機

離子束加工的應用范圍正在日益擴大，不斷創(chuàng)新。

目前用于改變零件尺寸和表面物理力學性能的離子束加工工藝主要有用于從工件上作去除加工的離子刻蝕加工、用于給工件表面添加的濺射鍍膜和離子鍍膜加工以及用于表面改性的離子注入加工。

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離子束刻蝕

離子束刻蝕是通過物理濺射功能進行加工的離子銑。國內(nèi)應用廣泛的雙柵考夫曼刻蝕機通常由屏柵和加速柵組成離子光學系統(tǒng)，其工作臺可以方便地調(diào)整傾角，使碲鎘基片法線與離子束的入射方向成θ角，并繞自身的法線旋轉(zhuǎn)

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離子束刻蝕技術(shù)是近年來發(fā)展起來的一種微細加工技術(shù)，它利用反應離子束轟擊團體表面時發(fā)生的濺射效應和化學反應剝離加工工作上的幾何圖形。具有極高的分辨率，能夠控制槽深和槽壁角度，表面應力小。反應離子束刻蝕技術(shù)已有效地用于研究和制造大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路，聲表面波器件，磁泡存儲器，微波器件，集成光路，超導器件，閃爍光柵等。