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發(fā)布時間:2020-12-15 02:07  

無塵車間的污染源應該怎么樣控制

     無塵車間潔凈度之維持和控制,除了硬設備之配合投資外,也需要良好的 軟件——管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度。

無塵車間內之污染來源,經測試分析結果,作業(yè)人員占約 80%,作業(yè)人員進出無塵車間時無塵車間的污染源可分為外污染及內污染源。



     外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如 N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內污染源則包括生產設備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺、 包裝材料等。所無塵布廠家以無塵車間工作不但要使用無塵材料,如無塵布,無塵服等,還要加強對進出人員的管理,方能發(fā)揮無塵車間應有的作用。



湖州無塵車間的平面布局

  無塵車間一般包括無塵區(qū)、準無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法:

   外廊盤繞式:外廊能夠有窗和無窗,兼作觀賞和放置一些設備用,有的在外廊內設直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。



   內廊式:無塵車間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的無塵度等級一般都較高,乃至和無塵車間同級。

   兩頭式:無塵區(qū)設在一邊,另一邊設準無塵和輔佐用房。

   中心式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠無塵區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來,這種方法避開室外氣候對無塵區(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。

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       每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的1級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于1級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。

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、氣流速度及其均勻度檢測,這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統(tǒng)或房間的風量檢測。

3、室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計數器檢測。

4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間,查明潔凈室內部發(fā)生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測凈化車間的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測凈化車間中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內空氣相對溫度,檢測回風溫度。

10、總風量和新風量的檢測。




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