特種氣體在LED中的應用

特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并且從根本上制約著電路和器件的性和準確性。

半導體工業(yè)用氣體品種多、質量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。半導體工業(yè)特種氣體應用分類，主要包括：

1. 硅族氣體：含硅基的類，如、二氯二氫硅、乙等。

2. 摻雜氣體：含硼、磷、等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

5. 金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬，如六氟化鎢、基等。

工業(yè)氣體在各行業(yè)中的應用！

工業(yè)氣體的應用范圍非常廣泛，種類也非常豐富，包括氧、氮、氬、氖、氦、氪、氙、氫、二氧化碳、乙炔、天然氣等。這些氣體各自具有不同的化學性質，應用環(huán)境也各不相同，在國民經濟中也具有舉足輕重的作用。

工業(yè)氣體用量的傳統(tǒng)行業(yè)主要有：煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等，包括石油化學工業(yè)、機械工業(yè)焊接、金屬熱處理等。由于這些產業(yè)在近幾年發(fā)展迅猛，這些氣體的用量也隨之增加。

環(huán)保產業(yè)投資力度加大為特種氣體行業(yè)發(fā)展提供巨大動力

近年來，隨著中國經濟的快速增長、人們環(huán)保意識的增強和環(huán)境保護工作力度的加大，中國環(huán)保產業(yè)取得了較大的發(fā)展。2017年，我國財政環(huán)境保護支出為4506億元，同比增長16.75%。在國家和各級不斷加大重視并持續(xù)增加支出，以及伴隨著工業(yè)發(fā)展產生的大量市場需求等方面因素的作用下，中國城市環(huán)保行業(yè)始終保持較快增長。

其中，作為環(huán)保產業(yè)的重要一環(huán)，與污水處理和大氣處理相比，中國目前固廢處理行業(yè)仍處于初始階段，產業(yè)化程度和市場集中度均非常低，投資規(guī)模的加大將為特種氣體行業(yè)的發(fā)展提供巨大的動力。