激光打孔

LTCC 瓷帶正面的通孔開口大小與瓷帶厚度無關(guān)， 瓷帶背面的通孔尺寸隨著厚度的增加而減小。這是因為激光束的精度不夠， 形成的通孔呈現(xiàn)出圓錐形。對于一定尺寸的通孔， 瓷帶層越厚， 通孔正面和背面的開口偏差越大， 如果超過某一值將很難形成通孔。所以為了在較厚的LTCC 瓷帶層上形成較小的通孔， 必須要把激光束調(diào)得很精細， 以使通孔的內(nèi)壁更平直， 而不會出現(xiàn)圓錐形。用激光打孔技術(shù)形成的50μm 以下通孔貫通性較差， 形成的75μm 通孔在顯微鏡下觀察到殘留物， 這會影響通孔質(zhì)量。

濾波器原理設計

帶通濾波器通過若干諧振電路的組合，實現(xiàn)濾波效應。帶狀線型濾波器的諧振單元不再選用集總模式下的電感電容，而是通過一段傳輸線來實現(xiàn)。此款帶通濾波器選擇六條帶狀線形成帶通效應，等效為六個諧振單元，相鄰諧振單元之間通過磁耦合的方式傳遞能量。初步設計出的六級帶狀線帶通濾波器，雖然有著帶通濾波的作用，但性能不佳，阻帶插損不夠，與既定的技術(shù)指標相去甚遠。因此，考慮引入Z字形結(jié)構(gòu)，通過交叉耦合的方式來引入傳輸零點，以期改善其不良的邊帶抑制度問題。

此時已基本達到初步設計要求，為了優(yōu)化濾波器性能，引入U形結(jié)構(gòu)，用以加強諧振級之間的磁耦合效應，完成終的設計目標。電路原理圖如圖1所示，其中L1和C1、L2和C2、L3和C3、L4和C4、L5和C5、L6和C6為六個等效為諧振單元的帶狀線，L7、L8、L9、L10、L11為相鄰帶狀線之間磁耦合等效的串聯(lián)電感，C16是加入Z字形結(jié)構(gòu)后的交叉耦合電容，L23和L45是引入U形結(jié)構(gòu)后磁耦合等效串聯(lián)電感。

 在顯微鏡下檢查沖孔后沖模開口的變化，

比原來的開口尺寸都有所增加， 這是沖模開口的磨損引起的。各工件上的溫度不均勻，造成有的工件溫度高，釬料流淌過多，有的工件溫度不足，釬料還未完全熔化鋪展，釬焊質(zhì)量一致性差，而且加熱周期長，效率低。機械沖孔形成的微通孔沖孔形成的微通孔孔徑和孔距的一致性較好， 頂部邊緣比較平滑， 但底部邊緣較粗糙， 內(nèi)壁比較平直， 頂部和底部開口大小相接近。